该企业专业出产GaAs(砷化镓)、GaN(氮化镓)等化合物半导体资料,出产的悉数过程中发生含砷、镉等高毒性物质的废水,处理难度极大。项目坐落长江经济带,环保要求极为严厉,有必要完成重金属零排放方针。
体系自运转以来,各项目标均优于规划值:出水砷浓度0.05mg/L(规划值0.1mg/L),镉浓度0.01mg/L(规划值0.05mg/L),水回用率90%,结晶盐作为危险废物标准处置。项目成为职业界首个完成废水零排放的化合物半导体企业,获评国家绿色制作体系集成项目。
经过对上述三个典型事例的剖析,能够总结出半导体工厂废水净化处理的几项关键技术:
半导体工业作为高新技术工业,其废水净化处理也代表着工业废水净化处理的顶配水平之一。上述事例标明,经过科学规划、技术创新和严厉管理,半导体废水可彻底完成高标准处理和资源化使用,为职业绿色开展供给有力支撑。
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